Harmonik Tahrik Redüktörü, RV Redüktör Dişli Kutusu ve Hassas Planet Redüktör, Wafer Taşıma Sistemlerinin Daha Yüksek Otomasyon Seviyelerine Ulaşmasına Yardımcı Olur
Teknolojinin sürekli ilerlemesiyle birlikte, wafer taşıma robotları, yarı iletken üretim endüstrisinin ihtiyaçlarını ve zorluklarını karşılamak için kademeli olarak daha yüksek otomasyon seviyelerine ulaşmaktadır.
Harmonik redüktör, sıfır boşluk, ultra yüksek hassasiyet (yay-saniye seviyesi) ve hafiflik özellikleri nedeniyle, wafer taşıma kolları (Wafer Handler), litografi makineleri (Lithography) ve temiz oda uyumlu makineler gibi ekipmanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
RV redüktör dişli kutusu, yüksek rijitliği, yüksek torku ve uzun ömrü sayesinde, yük taşıyan robotik kolların tabanında sıkça kullanılmaktadır.
Hassas planet redüktör, yüksek tork yoğunluğu ve kompakt yapısıyla, wafer konveyör bantları, indeksleme döner tablaları ve wafer ön hizalayıcıları gibi cihazlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.